用 途: 該設備是加工晶棒參考邊(OF面)時定向的專用儀器,是外圓滾磨機床后道工序的配套設備,將外圓滾磨機磨好的晶棒放在該儀器上進行定向;然后到平面磨床上磨參考面;其定向角度是固定式,客戶可根據自己的晶體材料選擇不同晶體的角度,如;藍寶石A、R面;硅、砷化稼、鍺(110)面等晶體的角度。(訂貨時晶向角度可自選) 特點: 此設備的優點是測量精度高,一臺設備的定向、能滿足多臺平面磨床的使用。標準配置2、4英寸夾具各一套。(訂貨時夾具尺寸可以選配) 方 法: 把滾磨機床磨好的晶棒放到 V型槽專用夾具中,放到工作臺上,使定向頭慢慢向下移動直至碰到晶棒為止,打開射線光閘測量其晶向,然后慢慢轉動晶棒找到參考邊方向,反復幾次準確的找到角度最大值;然后將夾具鎖緊,連同V型槽專用夾具一同放到平面磨機床上,磨出參考邊。
主要技術參數:
X 射線管 |
銅靶,陽極接地,強迫風冷 |
管 電 壓 |
30KVP、全壓合閘 |
管 電 流 |
0-5mA、連續可調 |
電源輸入 |
單相交流220V 、50HZ、 0.5KW |
測量角度 |
固定式藍寶石A向18°55′ |
計 數 管 |
蓋革、電壓DC700---1200V |
時間常數 |
0.1、0.4、3秒;3檔可調 |
X窗口控制 |
電 磁 光 閘 |
測晶棒重量 |
20Kg晶棒 |
測晶棒直徑;長度 |
直徑2--4英寸、長50-300 mm |
V槽夾具 |
標準配置、直徑2、4、英寸 |
外形尺寸 |
長1140×寬650×高1700 |
儀器重量 |
150KG | |